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LAGERUNG VON MIKROSKOPEN & NANOTECHNIK

Universitäten, Labore und F&E-Abteilungen haben einen hohen Anspruch an die Korrektheit präziser Messungen von Elektronenmikroskopen, Spektrometern oder ähnlichem. Damit Ergebnisse bei hochempfindlichen Messinstrumenten nicht verfälscht werden, nutzt man die passive Schwingisolierung und entkoppelt diese Geräte von der Umgebung.

Besonders geeignet für diese Anforderungen ist der CFM-Labortisch. Er dient zusätzlich zur Schwingisolierung auch als ergonomischer Arbeitsplatz zur Bedienung der Messgeräte. Je nach Kundenbedürfnis können Messgeräte auch direkt auf Luftfedern des Typs MAS oder MAS-M schwingisoliert gelagert werden.

Mikroskope, Messgeräte und Produktionsmaschinen in der Nanotechnik lassen oftmals nur extrem kleine Schwinggeschwindigkeiten (µm/sec) zu. Zulässige Werte werden in sogenannten Vibration Criteria (VC) Kurven kategorisiert und können im Bereich von Hundertsel µm liegen. Um selbst diese kleinsten Schwingungen effektiv zu isolieren, werden Betonfundamente als träge Massen eingesetzt. Je nach Anwendung können diese Fundamente mehrere Hundert Tonnen schwer sein. Dort kommen CFM-Luftfedern des Typs GRB zum Einsatz, die extrem geringe Eigenfrequenzen in horizontaler und vertikaler Richtung aufweisen.

Lagerung von Mikroskopen auf einem schwingisolierten Labortisch

Lagerung von Mikroskopen auf einem schwingisolierten Labortisch

Schwing­fundament mit GRB-Luftfedern an der Universität Leiden

Schwing­fundament mit GRB-Luftfedern an der Universität Leiden

Vibration Criteria (VC) der Isolation eines Elektronen-Mikroskop am Peter Grünberg-Institut am FZ Jülich

Vibration Criteria (VC) der Isolation eines Elektronen-Mikroskop am Peter Grünberg-Institut am FZ Jülich

Schwing­fundament mit GRB-Luftfedern am Ernst Ruska-Centrum Jülich

Schwing­fundament mit GRB-Luftfedern am Ernst Ruska-Centrum Jülich